真空阀和其他阀门相同，运用一些根本的力学原理，如闸阀、挡板盘或旋转盘来别离或阻隔真空区域并操控体积流量。

  但是，运用这一些力学原理的门槛是彻底不同的，例如，高自由度的颗粒，准确操控十分小的体积活动、密封，以及最小的振荡和冲击等，这使得真空阀规划类型多样得不同。

  真空闸阀 ——一般是阻隔或较简略的操控使用的抱负挑选。设备深度很窄，传导性最大（流阻最小），但闸口的行程空间需求。

  真空角阀 ——尺度十分紧凑，一般在密封、执行器和传感器方面十分模块化。均匀电导率，十分简单维护。

  真空蝶阀——大多数都用在操控使用。十分窄的设备深度，杰出的传导性，快速和准确的可控性。

  真空摆阀—— 十分窄的设备深度和紧凑的尺度，结合十分准确的操控行为，十分好的绝缘才能和十分高的传导性。

  对称流真空调节阀 ——特别类型，优化了从第一个开口到整个阀门开口的十分均匀的活动行为。

  气体计量阀或漏气阀——适用于十分精密的计量，例如，低流量的工艺气体的计量。

  泄压阀或排气阀 ——答应真空体系受控（一般是彻底）通风并防止超出规则压力条件的安全阀。

  真空止回阀——被动式，体积流量和压差操作的阀门。一般用于维护真空体系免受倒流污染。例如用于真空回流泵和真空体系之间。

  快速闭合阀——自动式维护阀，一般维护较大的真空体积或真空室不因走漏而形成真空丢失，对检测到的压力下降有十分快的封闭反响。

  真空全金属阀——专为极点压力、温度和辐射条件规划的一组真空阀，硬对硬（金属对金属）的密封，而不是弹性密封。

  真空多阀设备——特别类型的真空阀，将几种真空阀的功用结合在一个单元中，主要特征是削减部件数量，安装速度快。

  三位真空阀——真空阻隔阀的特别方式，除了封闭和翻开的方位外，还可以界说第三个阀位。一种使用是为了尽最大或许防止在高压差时因为阀门翻开过快而发生的压力脉冲。

  除了这些根本类型，还有很多的混合变体，其间一些结合了不同的阀门技能或为某些特别的条件供给解决方案。